服務电语:
023-62941604
023-86112012
023-62941604
023-86112012
型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
𓃲此款1700℃持续高温CVD控制系統，是由1700度管式炉、三路高服务质量人压力变送器控制系統各种国产图片高进口机械泵室控制系統（或加装低进口机械泵室控制系統）所组合而成。此的设施具体用在:进口机械泵室或团队氛围焙烧、基片镀膜等等等必须调温的温度较高的调查学习环境. 的设施技术设备工艺成长、高服务质量稳定可靠，温场平均，成分合理合法，气路常用液晶显示屏屏触摸屏对话框，使操作流程发现异常简易、有利；的设施的哪项技术设备工艺数据，30段智能控制序控温控制系統更多的是准确无误,使整体的调查的电脑运行程序尽在您的把握此中。
|
高温区性能： | 炉管面积：Φ60/80×1000mm（外径要选） 煮沸开关元件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 额定的公率：5.2 KW 规格尺寸规格尺寸：610×440×720 mm 条件辅件：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小保费1个； 🎉封密性软件：炉管两端配用304不锈钢封密性活套法兰（包含精密机械针阀，指南式涡流负压表和高压软管式宝塔嘴直接头） 网络端口可按实际上施用初始化。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 🙈工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连入头业务类型：双卡套不锈钢装饰管线接头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国内生产助力泵型号查询：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源模块：220v 50hz 电机马达瓦数：0.4kw 进排气管无线连接口：KF25 用剩余油量：1.1L 直流无刷电机转动速度：1440rpm 的工作区域温：5-40℃ 的噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配些规管：ZJ-52T阻值规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， ♔5.调整的方式：保险丝元件接线柱的输出，负债作用 AC220V/3A (或DC28V/3A)接触式负债， 6.电： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.耗电量： 20W 适用水不锈钢波纹管自功挡片阀与真空箱平台联接接。 |
高真空系统参数：
| 水汽相应气温：≤85% 任务线电压：AC220V±10% 50/60HZ 瓦数：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 外型长宽：850×600×650mm 机械泵: 抽气数率：10m³/h 容容量：1.1L 电动机最大功率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气速率单位：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 发动用时：＜2min 额定功率电机转速：4300转/分 闭式冷却塔的方式：坏境工作温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷散热。 分子泵控制器: 线电压：220V±22V 启用交流电：≤7A 发送频带宽度：47HZ—63HZ 大所在工率：≤150W 大提速电压降：≤40V 加快事件：≤3min 频段（双速）：快速路705HZ±10HZ 🍰 低挡430HZ±5HZ 复合真空计: 测定路数：2路（热敏电阻规、电离规各1路） 事业摸式：手动操作时/主动 电阻器單元基本参数 规管技术参数：ZJ-52T阻值规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元测试卷指标 规管产品型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气形式：焦耳去气 另外的运作 调节路数：4路 调控习惯：点动或区域划分调控/带掉电背诵 掌握精确度：±1% 采样系统时光：1S 电：220V±10% 50HZ 输出功率：50W 采用自然环境室内温度：0℃~45℃ 水分子含量：≤85% 拼接液压管路: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 选用水波纹软管手動隔板阀与真空环境机系统相相互连接接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
